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期刊專利論文

一種光刻膠樹脂、制備方法及光刻膠

來源：國家知識產權局2025年12月18日

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萬華化學： 一種光刻膠樹脂、制備方法及光刻膠
 
[發明公布] 一種光刻膠樹脂、制備方法及光刻膠
 
申請公布號：CN121135937A
 
申請公布日：2025.12.16
 
申請人：萬華化學集團股份有限公司
 
摘要：本發明公開了一種光刻膠樹脂、制備方法及光刻膠，所述光刻膠樹脂具有式(I)所示的結構通式，其可通過苯乙烯及其衍生物、丙烯酸類化合物通過Pd(II)催化劑聚合得到。本發明制備的光刻膠樹脂具有分子量可控、分子量分布較窄的特點；含有該聚合物樹脂的光刻膠可以明顯改善刻蝕邊界不清晰，線寬粗糙度較大的問題，滿足更高的光刻要求。
 
 
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